شکل ۴-۷ منحنی جابجایی بر حسب استرس در دیافراگم p++si 79
شکل ۴-۸ منحنی جابجایی بر حسب فشار به ازای ضخامت های μm 2، μm 4 و μm 7 80
شکل ۴-۹ منحنی فشار بر حسب جابجایی به ازای اندازه هایμm 550، μm 650، μm 750 80
شکل ۴-۱۰ منحنی جابجایی مرکز دیافراگم بر حسب ضخامت دیافراگم ۸۱
شکل ۴-۱۱ منحنی جابجایی مرکز دیافراگم بر حسب اندازه دیافراگم ۸۲
شکل ۴- ۱۲ منحنی جابجایی مرکز دیافراگم بر حسب فاصله از مرکز دیافراگم ۸۲
شکل ۴-۱۳ منحنی حساسیت مکانیکی دیافراگم بر حسب ضخامت دیافراگم ۸۳
شکل ۴-۱۴ منحنی حساسیت مکانیکی دیافراگم بر حسب اندازه دیافراگم ۸۴
شکل ۴-۱۵ منحنی حساسیت مکانیکی دیافراگم بر حسب استرس دیافراگم ۸۴
شکل ۴-۱۶ جابجایی دیافراگم a) با استرس و فشار صفر b) بدون استرس با اعمال فشار یکنواخت MPa 8/0 c) با استرس MPa 40 با اعمال فشار یکنواخت MPa 8/0 85
شکل ۴-۱۷ ساختار شبیه سازی شده سنسور فشار ۸۶
شکل ۴-۱۸ منحنی جابجایی بر حسب ولتاژ بایاس ۸۸
شکل ۴-۱۹ سقوط دیافراگم p++si در اثر پدیده پولین ۸۸
شکل ۴-۲۰ جابجایی دیافراگم در محور راستای z 89
شکل ۴-۲۱ منحنی جابجایی بر حسب فشار ۹۰
شکل ۴-۲۲ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب فشار ۹۱
شکل ۴-۲۳ ساختار خازنی سنسور فشار ۹۱
شکل ۴-۲۴ ساختار شبیه سازی توزیع استرس دیافراگم ۹۳
شکل ۴-۲۵ نمودار جابجایی برحسب فرکانس برای دیافراگم p++si 93

(( اینجا فقط تکه ای از متن درج شده است. برای خرید متن کامل فایل پایان نامه با فرمت ورد می توانید به سایت feko.ir مراجعه نمایید و کلمه کلیدی مورد نظرتان را جستجو نمایید. ))

شکل ۴-۲۶ منحنی جابجایی بر حسب ولتاژ بایاس برای دیافراگم پلی‌سیلیکون ۹۶
شکل ۴-۲۷ منحنی جابجایی بر حسب فشار ۹۶
شکل ۴-۲۸ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب فشار ۹۷
شکل ۴-۲۹ نمودار جابجایی برحسب فرکانس برای دیافراگم پلی‌سیلیکون ۹۸
شکل ۴-۳۰شبیه سازی آنالیز المان محدود برای ساختار سنسور فشار چشم ۹۹
شکل ۴-۳۱ منحنی جابجایی بر حسب ولتاژ بایاس ۱۰۰
شکل ۴-۳۲ منحنی جابجایی مرکز دیافراگم بر حسب فشار ۱۰۱
شکل ۴-۳۳ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب فشار ۱۰۱
شکل ۴-۳۴ جابجایی مرکز دیافراگم بر حسب ولتاژ بایاس ۱۰۳
شکل ۴-۳۵ شبیه سازی آنالیز المان محدود برای ساختار سنسور فشار با دیافراگم p++si 103
شکل ۴-۳۶ شبیه سازی آنالیز المان محدود برای ساختار سنسور فشار با دیافراگم پلی‌سیلیکون ۱۰۴
شکل ۴-۳۷ منحنی جابجایی بر حسب فشار ۱۰۵
شکل ۴-۳۸ منحنی جابجایی بر حسب استرس دیافراگم ۱۰۵
شکل ۴-۳۹ منحنی جابجایی بر حسب اندازه شکاف هوایی ۱۰۶
شکل ۴-۴۰ منحنی جابجایی بر حسب ضخامت دیافراگم ۱۰۷
شکل ۴-۴۱ منحنی جابجایی بر حسب اندازه دیافراگم ۱۰۸
شکل ۴-۴۲ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب فشار ۱۰۹
شکل ۴-۴۳ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب استرس دیافراگم ۱۱۰
شکل ۴-۴۴ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب ضخامت دیافراگم ۱۱۰
شکل ۴-۴۵ منحنی جابجایی بر حسب ولتاژ بایاس ۱۱۲
شکل۴-۴۶ شبیه سازی آنالیز المان محدود برای ساختار سنسور فشار با دیافراگم شیاردار p++si 113
شکل۴-۴۷ شبیه سازی آنالیز المان محدود برای ساختار سنسور فشار با دیافراگم شیاردار پلی‌سیلیکون ۱۱۳
شکل۴-۴۸ منحنی جابجایی بر حسب فشار ۱۱۴
شکل۴-۴۹ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب فشار ۱۱۵
شکل۴-۵۰ منحنی جابجایی بر حسب ضخامت دیافراگم ۱۱۶
شکل۴-۵۱ منحنی جابجایی بر حسب اندازه شکاف هوایی ۱۱۶
شکل۴-۵۲ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب ضخامت دیافراگم ۱۱۷
شکل۴-۵۳ منحنی ظرفیت خازنی بر حسب اندازه شکاف هوایی ۱۱۸
شکل ۴-۵۴ منحنی جابجایی بر حسب ولتاژ بایاس ۱۲۰
شکل ۴-۵۵ منحنی جابجایی بر حسب فشار ۱۲۱